*應用
FPD(STN-LCD、TFT-LCD、COLOR FILTER、Touch Panel(觸摸屏)、OLED、PDP、IC(晶圓、封裝)、CMOS(攝像頭)等製程烘烤。
*特點
1.內、中桶材質採用SUS304#無磁性鏡面不鏽鋼,外箱採用SS41#中碳鋼板經磷酸
皮膜鹽處理后兩層防光面塗裝烤漆,可防止微塵(PARTICLE);
2.全周氬焊,耐高溫硅膠迫緊,SUS304不鏽鋼電熱產生器,防機台本身產生微塵
(PARTICLE);
3.耐高溫濕進口HEPA FILTER(99.99%),能有效過濾微塵而達到潔淨等級class100#
(美國聯邦標準209E)。
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